图形化显示调节器
[型号] C7G
产品概述 产品规格 下载 应用案例
  • 针对干法刻蚀设备的控温改善算法FF-Fitter
    针对存在固定频率干扰的控温装置，通过前馈+ 增益 + PID调节的方式，降低固定频率干扰对装置温度的影响，来改善控温品质，提升装置性能。
    [型号] C7G / C1A / C2A/C2B
    C7G / C1A / C2A / C2B
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    提升装置性能
    提升生产效率
    半导体
  • 针对存在的温度大滞后现象的氧化扩散炉等设备的串级温度控制
    氧化及扩散炉是半导体前工序重要工艺设备，用于大规模集成电路、分立器件、电力电子、光电器件和光导纤维等行业的扩散、氧化、退火等工艺。主要用途是在高温条件下对半导体晶圆进行掺杂，从而改变和控制半导体内杂质的类型、浓度和分布，以便建立起不同的电特性区域，工艺过程温度具有极大的滞后特性。
    [型号] C7G/NX-□□□
    C7G / NX-□□□
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    半导体
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