针对干法刻蚀设备的控温改善算法FF-Fitter
针对存在固定频率干扰的控温装置，通过前馈+ 增益 + PID调节的方式，降低固定频率干扰对装置温度的影响，来改善控温品质，提升装置性能。
代表装置
干法刻蚀装置
潜在课题
当刻蚀工艺启动时，由于POWER启动产生的热量会造成温度上升，POWER停止后会造成温度下超调。
解决对策
通过阿自倍尔公司的FF-Fitter功能，通过前馈 + 增益 + PID调节的方式，实现对干扰的有效抑制。
效果对比
原理描述
与单纯的前馈控制相比，FF-Fitter是在前馈控制的基础上，叠加了PID调节，可以根据装置受到干扰影响的程度，在每个控制周期内，自动调节前馈控制量的强弱，从而更好的实现对干扰的抑制作用。可以改善存在固定周期干扰频率的各类装置。
支持产品
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图形化显示调节器[型号] C7GC7G -
数字显示调节器[型号] C1AC1A -
数字显示调节器[型号] C2A / C2BC2A / C2B
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