控制状态一目了然
通过LED的颜色及闪烁可以掌握控制状态。
显示器提供丰富的信息量,便于掌握具体的控制状态。
在宽流量范围内达到精度1%SP
不管是高流量范围还是低流量范围,都可以进行高精度控制,可应用于宽范围内
在宽流量范围内达到0.3s的高速响应
「由全闭状态开始控制时」及「设定值变更时」同样可以实现高速响应。同时需要变更不同气体流量时,也可以维持气体的比率。
可控制低压供给气体的低差压结构
采用压力损失小的直线流路结构。燃料气体等需要低压供给的气体也能够控制。
实现高速响应与低差压的微小感热式流速传感器
在无流动状态下,以加热器为中心的温度分布呈左右对称形式,而在有流动的状态下,加热器上游侧的温度下降,下游侧的温度上升,温度分布的对称性被破坏。这种温度差异可通过温度传感器捕捉,并计算出流速。
由热容量极小的温度传感器直接接触气体,得益于这样的构造,即便是极低流速的流量变化也能够瞬间捕捉到,实现宽流量测量范围的高速响应。此外直线流路构造也可以抑制压力损失。
由热容量极小的温度传感器直接接触气体,得益于这样的构造,即便是极低流速的流量变化也能够瞬间捕捉到,实现宽流量测量范围的高速响应。此外直线流路构造也可以抑制压力损失。