标准气体/小流量型
左右滑动表格
| 型号 | MQV9005 | MQV9020 | MQV9200 | MQV9500 | MQV0002 | MQV0005 | MQV0020 | MQV0050(B,C) | MQV0100 | |
| 阀门方式 | 比例电磁阀 | |||||||||
| 阀门动作 | 不通电时—关(N.C.) | |||||||||
| 标准全量程流量 注1 | 5.00mL/min (标状) |
20.0mL/min (标状) |
200mL/min (标状) |
0.500L/min (标状) |
2.00L/min (标状) |
5.00L/min (标状) |
20.0L/min (标状) |
50.0L/min (标状) |
100.0L/min (标状) |
|
| 气体种类 | 空气/氮气(N2)、氧气(O2)、 氩气(Ar) |
空气/氮气(N2)、氧气(O2)、氩气(Ar)、二氧化碳(CO2)、 城市煤气13A(LNG:45MJ/m3)、城市煤气13A(LNG:46MJ/m3)、 甲烷100%(CH4)、丙烷100%(C3H8)、丁烷100%(C4H10) |
空气/氮气(N2)、 氧气(O2)、 氩气(Ar)、 二氧化碳(CO2) |
|||||||
| 但是，必须是不含氯气、硫磺、酸等腐蚀成分的干燥气体。且不含粉尘、油雾的洁净气体。 注3 | ||||||||||
| 控制 | 响应性 (标准差压下) |
设定±2%FS以内为0.5s(TYP.) | 设定±2%FS以内为0.3s(TYP.) | |||||||
| (从全闭状态到开始控制时以及在控制中改变设定时) | ||||||||||
| 精度 注4 (标准温度、 标准差压下、 Ｑ：流量) |
±1%FS | |||||||||
| 压力 | 必要差压 注5、注6 | 5kPa | 30kPa | 50kPa | 5kPa | 50kPa | 5kPa | 50kPa | 100kPa | 250kPa |
| 动作差压范围 | 300kPa以下 | 400kPa以下 | ||||||||
| (T：动作温度) | ||||||||||
| 容许入口压力 | 0.5MPa(gauge) 注7 | |||||||||
| 温度 | 容许动作温度范围 | －10 ～＋60℃ | ||||||||
| 湿度 | 容许动作湿度范围 | 10 ～ 90%RH(无结露) | ||||||||
| 模拟输出 | 输出种类 | DC0～5V／1～5V／0～20mA／4～20mA(可切换) | ||||||||
| 报警· 事件输出 |
输出数 | 报警输出：1点，事件输出：2点 | ||||||||
| 外部切换输入 | 输入种类、输入数 | 外部3段切换输入：1点，外部接点输入(2段切换)：3点 | ||||||||
| 通讯 | 方式 | ①专用编程通讯 注9、②RS-485通讯(3线式) 注10 | ||||||||
| 电源 | 额定 | DC24V，最大消耗电流300mA | ||||||||
| 隔离 | 电源回路与输入输出回路隔离 | |||||||||
| 接气部材质 | SUS316、特氟隆、氟橡胶、硼硅玻璃、硅 | SUS316、特氟隆、氟橡胶 | ||||||||
| 连接方式 | 1/4Swagelok 1/4VCR | 9/16-18UNF、Rc1/4、1/4Swagelok、1/4VCR | 9/16-18UNF、Rc1/4、 3/8Swagelok |
|||||||
| 安装方向 | 水平安装，切勿将设定显示部分朝下 | |||||||||
| 重量 | 约1.1kg | 约1.2kg | ||||||||
| 认证规格 | CE认证产品 | 无CE认证 | ||||||||
标准气体/中流量型
左右滑动表格
| 型号 | MQV0050(J,K) | MQV0200 | MQV0500 | ||
| 阀门方式 | 比例电磁阀 | ||||
| 阀门动作 | 不通电时—关(N.C.) | ||||
| 标准全量程流量 注1 | 50.0L/min(标状) | 200L/min(标状) | 500L/min(标状) | ||
| 气体种类 | 空气/氮气(N2)、氧气(O2)、氩气(Ar)、二氧化碳(CO2)、城市煤气13A(LNG:45MJ/m3)、 城市煤气13A(LNG:46MJ/m3)、甲烷100%(CH4)、丙烷100%(C3H8)、丁烷100%(C4H10) 但是，必须是不含氯气、硫磺、酸等腐蚀成分的干燥气体。且不含粉尘、油雾的洁净气体。 注3 |
||||
| 控制 | 响应性 | 设定±2%FS以内为0.7s(TYP.) | |||
| (标准差压下) | (从全闭状态到开始控制时以及在控制中改变设定时) | ||||
| 精度 注4 | ±1%FS | ||||
| (标准温度、 标准差压下、 Ｑ：流量) | |||||
| 压力 | 必要差压 注5、注6 | 10kPa | 100kPa | 150kPa | |
| 动作差压范围 (T：动作温度) |
100kPa以下 | 300kPa以下(－10℃≦Ｔ≦40℃) 180kPa以下(40℃＜Ｔ≦60℃) |
300kPa以下(－10℃≦Ｔ≦35℃) 240kPa以下(35℃＜Ｔ≦50℃) |
||
| (条件：电源电压=24.0V) 注8 | |||||
| 容许入口压力 | 0.5MPa(gauge) | ||||
| 温度 | 容许动作温度范围 | －10 ～＋60℃ | －10～＋50℃ | ||
| 湿度 | 容许动作湿度范围 | 10 ～ 90%RH(无结露) | |||
| 模拟输出 | 输出种类 | DC0～5V／1～5V／0～20mA／4～20mA(可切换) | |||
| 报警·事件输出 | 输出数 | 报警输出：1点，事件输出：2点 | |||
| 外部切换输入 | 输入种类、输入数 | 外部3段切换输入：1点，外部接点输入(2段切换)：3点 | |||
| 通讯 | 方式 | 专用编程通讯 注9、RS-485通讯(3线式)注10 | |||
| 电源 | 额定 | DC24V、最大消耗电流400mA | DC24V、最大消耗电流500mA | ||
| 隔离 | 电源回路与输入输出回路隔离 | ||||
| 接气部材质 | SUS316、特氟隆、氟橡胶 | ||||
| 连接方式 | 3/4-16UNF、Rc1/2、1/2Swagelok、3/8VCR | ||||
| 安装方向 | 水平安装，切勿将设定显示部分朝下 | ||||
| 重量 | 约3.5kg | ||||
| 认证规格 | 无CE认证 | ||||
特殊气体型
左右滑动表格
| 型号 | MQV9200 | MQV9500 | MQV0002 | MQV0005 | MQV0020 | MQV0050(B,C) | MQV0200 | MQV0500 | |
| 阀门方式 | 比例电磁阀 | ||||||||
| 阀门动作 | 不通电时—关(N.C.) | ||||||||
| 标准全量程流量 注1 | 200mL/min (标状) | 0.500L/min (标状) | 2.00L/min (标状) | 5.00L/min (标状) | 20.0L/min (标状) | 50.0L/min (标状) |
200L/min (标状) | 500L/min (标状) | |
| 气体种类 | 空气/氮气(N2)、氩气(Ar)、二氧化碳(CO2)、乙炔(C2H2)、氨气(NH3) 注2 但是，必须是不含氯气、硫磺、酸等腐蚀成分的干燥气体。且不含粉尘、油雾的洁净气体。氨气为露点在-20℃以下的干燥气体。 注3 |
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| 控制 | 响应性 | 设定±2%FS以内为0.3s(TYP.) | 设定±2%FS以内为0.7s(TYP.) | ||||||
| (标准差压下) | (从全闭状态到开始控制时以及在控制中改变设定时) | ||||||||
| 精度 注4 | ±1%FS | ||||||||
| (标准温度、 标准差压下、 Ｑ：流量) | |||||||||
| 压力 | 必要差压 注5、注6 | 50kPa | 5kPa | 50kPa | 5kPa | 50kPa | 100kPa | 150kPa | |
| 动作差压范围 (T：动作温度) |
300kPa以下 | 300kPa以下 (－10℃≦T≦40℃) 180kPa以下 (40℃＜T≦60℃) |
300kPa以下 (－10℃≦T≦35℃) 240kPa以下 (35℃＜T≦50℃) |
||||||
| (条件：电源电压＝24.0V)注8 | |||||||||
| 容许入口压力 | 0.5MPa(gauge) 注7 | ||||||||
| 温度 | 容许动作温度范围 | －10 ～＋60℃ | |||||||
| 湿度 | 容许动作湿度范围 | 10 ～ 90%RH(无结露) | |||||||
| 模拟输出 | 输出种类 | DC0～5V／1～5V／0～20mA／4～20mA(可切换) | |||||||
| 报警·事件输出 | 输出数 | 报警输出：1点，事件输出：2点 | |||||||
| 外部切换输入 | 输入种类、输入数 | 外部3段切换输入：1点，外部接点输入(2段切换)：3点 | |||||||
| 通讯 | 方式 | 专用编程通讯 注9、RS-485通讯(3线式)注10 | |||||||
| 电源 | 额定 | DC24V、最大消耗电流300mA | DC24V、最大消耗电流400mA | DC24V、最大消耗电流500mA | |||||
| 隔离 | 电源回路与输入输出回路隔离 | ||||||||
| 接气部材质 | SUS316、特氟隆、EPDM(三元乙丙橡胶) | ||||||||
| 连接方式 | Rc1／4、1／4Swagelok、1／4VCR | 1／2Swagelok | |||||||
| 安装方向 | 水平安装，切勿将设定显示部分朝下 | ||||||||
| 重量 | 约1.2kg | 约3.5kg | |||||||
| 认证规格 | 无CE认证 | ||||||||
氢气/氦气型
左右滑动表格
| 型号 | MQV9020 | MQV9050 | MQV9500 | MQV0005 | MQV0010 | MQV0050 | MQV0200 | MQV0500 | MQV1000 | |
| 阀门方式 | 比例电磁阀 | |||||||||
| 阀门动作 | 不通电时—关(N.C.) | |||||||||
| 标准全量程流量 注1 | 20.0mL/min (标状) |
50.0mL/min (标状) |
0.500L/min (标状) |
5.00L/min (标状) |
10.00L/min (标状) |
50.0L/min (标状) |
200L/min (标状) |
500L/min (标状) |
1000L/min (标状) |
|
| 气体种类 | 氢气(H2)、氦气(He) 但是，必须是不含氯气、硫磺、酸等腐蚀成分的干燥气体。且不含粉尘、油雾的洁净气体 注3 |
|||||||||
| 控制 | 响应性 | 设定±2%FS以内为0.5s(TYP.) | 设定±2%FS以内为0.3s(TYP.) | 设定±2%FS以内为0.7s(TYP.) | ||||||
| (标准差压下) | (从全闭状态到开始控制时以及在控制中改变设定时) | |||||||||
| 精度 注4 (标准温度、 标准差压下、 Ｑ：流量) |
±0.5%FS (0%FS≦Ｑ≦50%FS) ±1.0%FS (50%FS＜Ｑ≦100%FS) |
±1.0%FS (0%FS≦Ｑ≦100%FS) |
±1%FS | |||||||
| 压力 | 必要差压 注5、注6 | 氢气：2.5kPa 氦气：5kPa |
氢气：10kPa 氦气：20kPa |
氢气：20kPa 氦气：40kPa |
氢气：80kPa 氦气：150kPa |
氢气：20kPa 氦气：40kPa |
氢气：100kPa 氦气：180kPa |
氢气：40kPa 氦气：80kPa |
氢气：150kPa 氦气：250kPa |
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| 动作差压范围 (T：动作温度) |
300kPa以下(－10℃≦Ｔ≦60℃) | 300kPa以下 (-10℃≦T≦40℃) 180kPa以下 (40℃＜T≦60℃) |
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| (条件：电源电压=24V)注8 | ||||||||||
| 容许入口压力 | 0.5MPa(gauge) 注7 | |||||||||
| 温度 | 容许动作温度范围 | －10～＋60℃ | ||||||||
| 湿度 | 容许动作湿度范围 | 10 ～ 90%RH(无结露) | ||||||||
| 模拟输出 | 输出种类 | DC0～5V／1～5V／0～20mA／4～20mA(可切换) | ||||||||
| 报警·事件输出 | 输出数 | 报警输出：1点，事件输出：2点 | ||||||||
| 外部切换输入 | 输入种类、输入数 | 外部3段切换输入：1点，外部接点输入(2段切换)：3点 | ||||||||
| 通讯 | 方式 | 专用编程通讯 注9、RS-485通讯(3线式)注10 | ||||||||
| 电源 | 额定 | DC24V、最大消耗电流300mA | DC24V、最大消耗电流400mA | |||||||
| 隔离 | 电源回路与输入输出回路隔离 | |||||||||
| 接气部材质 | SUS316、特氟隆、氟橡胶、硼硅玻璃、硅 | SUS316、特氟隆、氟橡胶 | ||||||||
| 连接方式 | 1/4Swegelok、1/4VCR | Rc1/4、1/4Swegelok、1/4VCR、9/16-18UNF | Rc1/2、1/2Swagelok 3/8VCR、3/4-16UNF | |||||||
| 安装方向 | 水平安装，切勿将设定显示部分朝下 | |||||||||
| 重量 | 约1.1kg | 约1.2kg | 约3.5kg | |||||||
| 认证规格 | CE认证产品 | 无CE认证 | ||||||||
| 注1）mL/min和L/min（标状）表示换算为20℃、101.325kPa（1个大气压）下的每分钟的体积流量（mL/min和L/min）。基准温度也可变更为0℃、25℃或35℃。 另外，可控制的流量量程随气体种类不同而变化。 注2）特殊气体型请勿使用上述气体以外的气体。否则，O型密封圈的密封性可能受损。 注3）请勿让异物流入本机内。配管内的锈、水滴、油雾、灰尘等流经本机内时，会产生测量和控制的误差，并可能损坏本机。 可能会有异物流入的场合，请在本机的上游安装可去除0.1μm以上异物的过滤器、滤网、油雾分离器等，并进行定期维护及更换。 注4）气体为空气、氮气以及氧气（氧气型产品）时的精度。 注5）表示控制全量程流量时的最小差压。（条件：出口压力=0kPa（gauge）） 注6）达不到必要差压时也可动作。但是，可控制的流量量程会变小。详细请垂询我司。 注7）如果在入口压力大于0.5MPa（gauge）的场合使用时，请垂询我司。 注8）最大动作差压因电源电压而异。 注9）需使用另售的专用编程软件包（MLP100A100）。 注10）仅限带RS-485通讯功能的型号使用。 |
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