300ms的高速控制性能
实现了实力300ms (型号MQV0050/0200/0500J,K为700ms)以下的高速控制。
在「从全闭状态到稳定于设定流量」及「设定值变更」等方面也发挥了优异的高
速性能。
另外，还可以高速响应1次侧气体压力的变动，将对2次侧气体流量的影响控制在
最小限度。
在「从全闭状态到稳定于设定流量」及「设定值变更」等方面也发挥了优异的高
速性能。
另外，还可以高速响应1次侧气体压力的变动，将对2次侧气体流量的影响控制在
最小限度。
可靠的控制精度
标准型
精度:
+0.5%FS/士1.0%FS
重复性:
士0.25%FS/士0.5%FS
控制范围1~100%FS
精度:
+0.5%FS/士1.0%FS
重复性:
士0.25%FS/士0.5%FS
控制范围1~100%FS
微小感热式流速传感器
测量原理
在无流动状态下，以加热器为中心的温度分布是左右对称的，而在有流动的状态下，加热器上游侧的温度下降，下游侧的温度上升，温度分布的对称性被破坏。
上述温度差以温度传感器（白金薄膜）阻值的差的形式表现出来，从而可以计算出质量流量（流速X密度）。
在无流动状态下，以加热器为中心的温度分布是左右对称的，而在有流动的状态下，加热器上游侧的温度下降，下游侧的温度上升，温度分布的对称性被破坏。
上述温度差以温度传感器（白金薄膜）阻值的差的形式表现出来，从而可以计算出质量流量（流速X密度）。
可控制低压供给气体的低差压结构
采用压力损失小的直线流路结构。燃料气体等需要低压供给的气体也能够控制。
