规格
左右滑动表格
| 适用气体种类※1 | 空气、氮气、氧气，但必须是不含氯、硫磺、酸等腐蚀成分的干燥气体，且不含粉尘及雾（油雾）的洁净气体。 |
| 使用氧气时的流体条件：供给压力50kPa以下、氧气浓度95%以下 | |
| 应答性 | 5ms以下（响应时间为阶跃响应的95％） |
| 输出信号 | 1 ～ 5Vd（c 非线性特性、标准输出特性参照图表），容许负载电阻10kΩ以上 |
| 使用温度范围 | 0 ～＋50℃（环境温度和流体温度） |
| 保存温度范围 | －10 ～＋60℃（无结冰） |
| 使用、保存湿度范围 | 10 ～ 80％ RH（无结露） |
| 使用压力范围 | －100 ～＋200kPa（但是压力特性保证范围是－70 ～＋200kPa） |
| 耐压 | 300kPa |
| 电源电压 | 12～24Vdc、纹波电压：12Vdc驱动时5％以下，24Vdc驱动时10％以下※2 （MCS100A120：24Vdc驱动时10％以下※2） |
| 容许电压变动范围 | 12Vdc驱动时：11.4～13.2Vdc的范围内，相对于12Vdc时的输出值在±2％以下 |
| 24Vdc驱动时：21.6～26.4Vdc的范围内，相对于24Vdc时的输出值在±2％以下 | |
| 消耗电流 | 12mA max. |
| 耐电压 | 外部连接器全端子－本体间：500Vac－1分钟、或600Vac－1秒钟 |
| 绝缘电阻 | 外部连接器全端子－本体间：50MΩ（500Vdc高阻表） |
| 配管连接方式 | M5螺纹（黄铜制内螺纹），紧固扭矩应在2.5N・m以下 |
| 材质 | 接气部：PPS树脂（流路本体）、陶瓷（基板）、黄铜（连接部）外盖：PC树脂（聚碳酸酯） |
| 安装条件 | 使用本机器的安装孔时，应使用M3螺丝钉，紧固扭矩在0.6N・m以下 |
| 耐振动性 | 10～55Hz、复振幅1.5mm、XYZ各方向2小时 |
| 重量 | 9g |
| 电气连接 （专用连接器连接） |
带连接器缆线（另售）：81446888-001（缆线长度：2m）、81446888-002（缆线长度：3m） |
| MCS侧：SM03B-SRSS-G-TB（ J.S.T. Mfg. Co.,Ltd.制造），对应侧：SHR-03V-S-B（外壳）、 SSH-003GA-P0.2（端子）（ J.S.T. Mfg. Co.,Ltd.制造） |
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| ※1 请在传感器的上游侧安装能够捕捉到10μm的粉尘、雾的过滤器，以免异物流入传感器流路内。 如有锈、水滴、油雾等流入的危险，请在上游设置过滤器、雾收集器等，并定期检查、更换。 ※2 使用24Vdc驱动时，在测量量程上限流量附近时，可能会在流量稳定后产生最大1%FS（流量稳定500秒后的漂移量）的输出变化。 |
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