90mm型 氟橡胶密封垫规格
左右滑动表格
| 型号 | F4Q9200 | F4Q9500 | F4Q0002 | F4Q0005 | F4Q0020 | F4Q0050 | F4Q0100 | |
| 阀门方式 | 比例电磁阀 非通电时闭合（N.C.） | |||||||
| 标准全量程流量（空气／氮气） 注1 | 200mL/min | 0.5L/min | 2L/min | 5L/min | 20L/min | 50L/min | 100L/min | |
| 气体种类 注2 | 空气／氮气、氧气、氩气、二氧化碳、城市煤气13A(45MJ/m3)、甲烷100％、丙烷100％、丁烷100％ | |||||||
| 控制范围 | 1～100％ FS | |||||||
| 控制 | 响应性 注3 | 设定±2％ FS以内0.3s（TYP.） | ||||||
| 精度 （基准条件下,Ｑ：流量） 注4 |
±1%SP(40≦Q≦100%） ±0.4%FS(1≦Q<40%) |
±1%SP(15≦Q≦100%） ±0.15%FS(1≦Q<15%) |
±1.5%SP(60≦Q≦100% ±0.9%FS(1≦Q<60%) |
|||||
| 压力 | 标准差压 | 200kPa (入口压力: 200kPa (gauge)、出口压力: 0kPa (gauge)) | ||||||
| 动作差压范围 注5 | 50～300kPa | 5～300kPa | 50～300kPa | 5～300kPa | 50～300kPa | 100～300kPa | 200～400KPa | |
| 容许入口压力 | 0.5MPa（gauge） | |||||||
| 耐压 | 1MPa（gauge） | |||||||
| 动作条件 使用环境温度 | -10～60℃ | |||||||
| 外部泄漏 | 1×10 -8 Pa•m3/s（He）（不含O型圈渗漏） | |||||||
| 模拟 | 输入型 | DC 0～5V／1～5V／4～20mA（可切换） | ||||||
| 输入输出 | 输出型 | DC 0～5V／1～5V／4～20mA（可切换） | ||||||
| 数字 输入输出 |
数字输入 | 3点 | ||||||
| 更改SP编号／更改动作模式／流量零点校正／更改气体种类设定／更改SP 斜率控制分配／重置报警 等 | ||||||||
| 数字输出 | 3点 | |||||||
| 累积脉冲输出／控制中ON／全开时ON／全闭时ON／错误发生时ON 等 | ||||||||
| 通讯 注6 | ①USB2.0 ②RS-485通讯（3线式，可以在设定切换CPL 或 ModbusRTU） | |||||||
| 电源 | 额定 | DC 24V、消耗电流最大300mA | ||||||
| 隔离 | 电源回路与输入输出回路绝缘 | |||||||
| 主要接气部材质 注7 | SUS316、氟树脂、氟橡胶 | |||||||
| 安装方向 注8 | 水平安装（请勿将显示面板朝下）或垂直安装 | |||||||
| 防护等级 注9 | IP40 | |||||||
| 认证规格 | EN61326-1、EN61326-2-3 | |||||||
90mm型 EPDM密封垫规格
左右滑动表格
| 型号 | F4Q9200 | F4Q9500 | F4Q0002 | F4Q0005 | F4Q0020 | F4Q0050 | |
| 阀门方式 | 比例电磁阀 非通电时闭合（N.C.） | ||||||
| 标准全量程流量（空气／氮气） 注1 | 200mL/min | 0.5L/min | 2L/min | 5L/min | 20L/min | 50L/min | |
| 气体种类 注2 | 空气／氮气、氩气、二氧化碳、乙炔 注10、氨气 注10 | ||||||
| 控制范围 | 1～100％ FS | ||||||
| 控制 | 响应性 注3 | 设定±2％ FS以内0.3s（TYP.） | |||||
| 精度 （基准条件下,Ｑ：流量） 注4 |
±1%SP(40≦Q≦100%） ±0.4%FS(1≦Q<40%) |
±1%SP(15≦Q≦100%） ±0.15%FS(1≦Q<15%) |
|||||
| 压力 | 标准差压 | 200kPa (入口压力: 200kPa (gauge)、出口压力: 0kPa (gauge)) | |||||
| 动作差压范围 注5 | 50～300kPa | 5～300kPa | 50～300kPa | 5～300kPa | 50～300kPa | 100～300kPa | |
| 容许入口压力 | 0.5MPa（gauge） | ||||||
| 耐压 | 1MPa（gauge） | ||||||
| 动作条件 使用环境温度 | -10～60℃ | ||||||
| 外部泄漏 | 1×10 -8 Pa•m3/s（He）（不含O型圈渗漏） | ||||||
| 模拟 | 输入型 | DC 0～5V／1～5V／4～20mA（可切换） | |||||
| 输入输出 | 输出型 | DC 0～5V／1～5V／4～20mA（可切换） | |||||
| 数字 输入输出 |
数字输入 | 3点 | |||||
| 更改SP编号／更改动作模式／流量零点校正／更改气体种类设定／更改SP 斜率控制分配／重置报警 等 | |||||||
| 数字输出 | 3点 | ||||||
| 累积脉冲输出／控制中ON／全开时ON／全闭时ON／错误发生时ON 等 | |||||||
| 通讯 注6 | ①USB2.0 ②RS-485通讯（3线式，可以在设定切换CPL 或 ModbusRTU） | ||||||
| 电源 | 额定 | DC 24V、消耗电流最大300mA | |||||
| 隔离 | 电源回路与输入输出回路绝缘 | ||||||
| 主要接气部材质 注7 | SUS316、氟树脂、EPDM | ||||||
| 安装方向 注8 | 水平安装（请勿将显示面板朝下）或垂直安装 | ||||||
| 防护等级 注9 | IP40 | ||||||
| 认证规格 | EN61326-1、EN61326-2-3 | ||||||
150mm型 氟橡胶密封垫规格
左右滑动表格
| 型号 | F4Q0050 | F4Q0200 | F4Q0500（近期推出） | |
| 阀门方式 | 比例电磁阀 非通电时闭合（N.C.） | |||
| 标准全量程流量（空气／氮气） 注1 | 50L/min | 200L/min | 500L/min | |
| 气体种类 注2 | 空气／氮气、氧气、氩气、二氧化碳、城市煤气13A(45MJ/m3)、甲烷100％、丙烷100％、丁烷100 | |||
| 控制范围 | 1～100％ FS | |||
| 控制 | 响应性 注3 | 设定±2％ FS以内0.7s（TYP.） | ||
| 精度 （基准条件下,Ｑ：流量） 注4 |
±1.5%SP(30≦Q≦100%） ±0.45%FS(1≦Q<30%) |
±1%SP(30≦Q≦100%） ±0.3%FS(1≦Q<30%) |
±1.5%SP(20≦Q≦100%） ±0.3%FS(1≦Q<20%) |
|
| 压力 | 标准差压 | 50kPa (入口压力: 50kPa (gauge)、出口压力: 0kPa (gauge)) | 200kPa (入口压力: 200kPa (gauge)、出口压力: 0kPa (gauge)) | |
| 动作差压范围 注5 | 10～100kPa | 100～300kPa | 150～300kPa | |
| 容许入口压力 | 0.5MPa（gauge） | |||
| 耐压 | 1MPa（gauge） | |||
| 动作条件 使用环境温度 | -10～60℃ | |||
| 外部泄漏 | 1×10 -8 Pa•m3/s（He）（不含O型圈渗漏） | |||
| 模拟 | 输入型 | DC 0～5V／1～5V／4～20mA（可切换） | ||
| 输入输出 | 输出型 | DC 0～5V／1～5V／4～20mA（可切换） | ||
| 数字 输入输出 |
数字输入 | 3点 | ||
| 更改SP编号／更改动作模式／流量零点校正／更改气体种类设定／更改SP 斜率控制分配／重置报警 等 | ||||
| 数字输出 | 3点 | |||
| 累积脉冲输出／控制中ON／全开时ON／全闭时ON／错误发生时ON 等 | ||||
| 通讯 注6 | ①USB2.0 ②RS-485通讯（3线式、可以在设定切换CPL 或 ModbusRTU） | |||
| 电源 | 额定 | DC 24V、消耗电流最大400mA | ||
| 隔离 | 电源回路与输入输出回路绝缘 | |||
| 主要接气部材质 注7 | SUS316、氟树脂、氟橡胶 | SUS316、氟树脂、氟橡胶、SUS630同等 | ||
| 安装方向 注8 | 水平安装（请勿将显示面板朝下）或垂直安装 | |||
| 认证规格 | EN61326-1、EN61326-2-3 | |||
150mm型 EPDM密封垫规格
左右滑动表格
| 型号 | F4Q0200 | F4Q0500（近期推出） | |
| 阀门方式 | 比例电磁阀 非通电时闭合（N.C.） | ||
| 标准全量程流量（空气／氮气） 注1 | 200L/min | 500L/min | |
| 气体种类 注2 | 空气／氮气、氩气、二氧化碳、乙炔 注9、氨气 注9 | ||
| 控制 | 控制范围 | 1～100％ FS | |
| 响应性 注3 | 设定±2％ FS以内0.7s（TYP.） | ||
| 精度 （基准条件下,Ｑ：流量） 注4 |
±1%SP(30≦Q≦100%） ±0.3%FS(1≦Q<30%) |
±1.5%SP(20≦Q≦100%） ±0.3%FS(1≦Q<20%) |
|
| 压力 | 标准差压 | 200kPa (入口压力: 200kPa (gauge)、出口压力: 0kPa (gauge)) | |
| 动作差压范围 注5 | 100～300kPa | 150～300kPa | |
| 容许入口压力 | 0.5MPa（gauge） | ||
| 耐压 | 1MPa（gauge） | ||
| 动作条件 使用环境温度 | -10～60℃ | ||
| 外部泄漏 | 1×10 -8 Pa•m3/s（He）（不含O型圈渗漏） | ||
| 模拟 输入输出 |
输入型 | DC 0～5V／1～5V／4～20mA（可切换） | |
| 输出型 | DC 0～5V／1～5V／4～20mA（可切换） | ||
| 数字 输入输出 |
数字输入 | 3点 | |
| 更改SP编号／更改动作模式／流量零点校正／更改气体种类设定／更改SP 斜率控制分配／重置报警 等 | |||
| 数字输出 | 3点 | ||
| 累积脉冲输出／控制中ON／全开时ON／全闭时ON／错误发生时ON 等 | |||
| 通讯 注6 | ①USB2.0 ②RS-485通讯（3线式，可以在设定切换CPL 或 ModbusRTU） | ||
| 电源 | 额定 | DC 24V、消耗电流最大400mA | |
| 隔离 | 电源回路与输入输出回路绝缘 | ||
| 主要接气部材质 注7 | SUS316、氟树脂、EPDM | SUS316、氟树脂、EPDM、SUS630同等 | |
| 安装方向 注8 | 水平安装（请勿将显示面板朝下）或垂直安装 | ||
| 认证规格 | EN61326-1、EN61326-2-3 | ||
| 注1： mL/min和L/min为换算成0℃ 101.325kPa（1个大气压）下的每1分钟的体积流量。 可控制的流量量程因各气体种类而异。 注2： 请使用不含氯气、硫磺、酸等腐蚀成分的干燥气体。另外，请使用不含尘埃和油雾的干净气体。 注3： 标准差压时的值。 注4： 基准条件下与本公司的仪器差。 <基准条件> ●流体：空气 ●入口压：标准差压±15kPa(gauge) ●出口压：大气压 ●环境温度：23±2℃ ●气体温度：与环境温度相同 ●动作模式：控制中 ● 振动/脉动：两者皆无 ●预热时间：环境温度中放置2小时以上，且电源ON后放置30分钟 以上 ●安装方向：水平/显示器向上 ●上游直管长：无条件（型号F4Q0100/F4Q0200/F4Q0500除外）、 25mm以上（型号F4Q0100）、50mm（型号 F4Q0200）、70mm（型号 F4Q0500） 注5： 虽然在必要的差压以下也可以动作，但可控制的流量量程范围变小。 注6： USB2.0为连接本公司PC软件时使用。 支持micor USB Type-B（2m max）接口。 注7： 接气部经过禁油处理。 注8： 垂直安装的情况，测量值会产生误差。通过机器设定，可以进行校正。 注9： 仅连接器连接时。分离显示器仅显示部分前面方向。 注10：无法通过「气体种类设定」选择。请通过「用户设定气体补偿系数（C.F.）」进行设定。 |
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