规格
左右滑动表格
| 型号 | F4H9050 | F4H9200 | F4H9500 | F4H0002 | F4H0005 | F4H0020 | ||
| 阀门动作 | 非通电时闭合(N.C.) | |||||||
| 全量程流量(空气) 注1 | 50.00mL/min | 200.0mL/min | 500.0mL/min | 2.000L/min | 5.000L/min | 20.00L/min | ||
| 气体种类 注2 | 空气/氮气型：空气/氮气、氩气、二氧化碳、氢气、氮气(可通过设定切换) 氧气型：氧气、空气/氮气、氫气、二氧化碳、氢气、氮气(可通过设定切换) 准标准气体型：乙炔、氨气、空气/氮气、氨气、二氧化碳、氢气、氮气(可通过设定切换) 关于其他气体种类是否可以使用请垂询本公司销售 |
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| 控制 | 重复性 | ±0，2%FS±1digit | ||||||
| 精度(基准条件下) 注3 | ①±2%SP (50%FS<Q≤100%FS) ②±1%FS (0%FS≤Q≤50%FS) |
①±1%SP(50%FS<Q≤100%FS) ②±0.5%FS(0%FS≤Q≤50%FS) |
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| PV值相对于SP值的偏差 | ±0.1%FS±1digit 以下 | |||||||
| 应答性(标准差压下) | 从流量零点到整定为设定±2%FS以内的时间：0.3s(TYP.) 注10 | |||||||
| 压力 | 动作差压范围 注4 | 环境温度：-10≤t≤40℃ | 20~200kPa | 50~300kPa | 100~300kPa | 50~300kPa | 100~300kPa 注11 | 180~300kPa 注11注12 |
| 环境温度：40<t≤50℃ | 20~200kPa | 100~300kPa | 150~300kPa 注6 | 100~300kPa | 150~300kPa 注11 | 不可使用 | ||
| 标准差压 (出口压力=0kPa(gauge)) 注5 |
100kPa | 200kPa | ||||||
| 容许入口压力 | 0.5MPa(gauge)以下 | |||||||
| 耐压 | 1MPa(gauge) | |||||||
| 压力影响 (水平安装，空气时100kPa左右) |
±1.0%FS以下 | ±0.5%FS以下 | ±0.2%FS以下 | ±0.2%FS以下 | ±0.2%FS以下 | ±0.2%FS以下 | ||
| 温度 | 容许动作温度范围 | -10~+50℃ | -10~+40℃ | |||||
| 容许保存温度范围 | -20~+70℃ | |||||||
| 温度影响 | 1℃左右 ±0.2%FS以下 |
1℃左右±0.1%FS以下 | ||||||
| 湿度 | 容许动作湿度范围 | 10~90%RH(无结露) | ||||||
| 容许保存湿度范围 | 10~90%RH(无结露) | |||||||
| 外部泄漏 | 氮泄漏率 | 1x10-8Pa·m3/s | ||||||
| 流量设定用 模拟输入 |
设定分辨率 | 3,000 | ||||||
| 输入量程 | 0~5Vdc(出厂设定)上位通讯或专用PC编程器时可变更为1~5Vdc、4~20mA | |||||||
| 输入阻抗 | 电压输入1MΩ±10%，电流输入250Ω±10% | |||||||
| 瞬时流量用模拟输出 | 输出量程 | 0~5Vdc(出厂设定)上位通讯或专用PC编程器时可变更为1~5Vdc、4~20mA | ||||||
| 最大输出 | 110%以上(120%以下) | |||||||
| 外部负载电阻 | 电压输出时250Ω以上，电流输出时300Ω以下 | |||||||
| 外部接点输入 | 输入点数、用途 | 1点「阀门强制开」「阀门强制闭」「流量零点补偿」「报警重设」(可通过设定变更) | ||||||
| 对方回路形式 | 无电压接点或开路集电极 | |||||||
| 接点OFF时端子电压 | 4.5±1V | |||||||
| 接点ON时端子电流 | 约0.5mA | |||||||
| 容许ON残留电压 | 0.8V以下 | |||||||
| 容许OFF泄漏电流 | 50μA以下 | |||||||
| 数字输出 | 输出点数 | 1点 | ||||||
| 输出额定 | 30Vdc、 30mA max(开路集电极非绝缘输出) | |||||||
| OFF泄漏电流 | 0.5μAmax(Vcc=30V 25℃) | |||||||
| ON残留电压 | 1Vmax | |||||||
| 通讯规格 | 可连接台数 | 31台 | ||||||
| 通讯方式 | RS485(3线制) | |||||||
| 协议 | CPL通讯、Modbus RTU(下单时根据型号选择其中一种) | |||||||
| 通讯速度 | 9600、19200、38400bps | |||||||
| 连接 | RJ45×2 | |||||||
| 电源 | 额定 | 24Vdc，消耗电流300mA max | ||||||
| 容许电源电压范围 | 22.8~25.2Vdc(纹波5%以下) | |||||||
| 隔离 | 电源回路与输入输出回路绝缘 | |||||||
| 连接方式 | 9/16-18UNF、Rc1/4.1/4Swagelok同等、1/4VCR同等 | |||||||
| 安装方向 | 仅水平安装 | 水平安装(请勿把面板部朝下安装)、或垂直安装 注7注8 | ||||||
| 主要接气部材质 | 标准气体型/氧气型：SUS316、氟树脂、氟橡胶 准标准气体型：SUS316、氟树脂、EPDM(三元乙丙橡胶) |
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| 重量 | 约700g(接头除外) | |||||||
| 认证规格、规制 | EN61326-1 2013、EN61326-2-32013 注9 | |||||||
| 注1：mL/min及L/min 是在0℃、101.325kPa(1个大气压) 下换算得到的每1分钟的体积流量(mL/min 及 L/min)。可控制的流量量程因各气体种类而异。 注2：请使用不含氯气、硫磺、酸等腐蚀成分的干燥气体。另外，请使用不含尘埃及油雾的洁净气体。 注3：基准条件下与本公司设备的仪器差。 注4：虽然在必要差压以下也可动作，但可控制的流量量程范围变小。 注5：产品校正时的差压。 注6：电源电压请勿降到23.5Vdc以下。 注7：流向为垂直方向的姿势时会产生误差。 功能设定「配管方向设定」（C-34）的设定值变更为 与设置状态匹配后，参数设定「一次压指定」（P-23）的参数值根据使用的压力进行变更。 注8：型号F4H9050不可垂直安装。 注9：EMC 试验中，有产生相当于 ±5%FS 指示值和输出值变动的情况。 注10：型号F4H0020设定C-36（动作差压设定）设定为「0：低差压」的情况。 注11：请在电源电压23.5~25.2V的范围内使用。 注12：最大动作差压根据电源电压变化。氩气的动作差压范围为250~300kPa |
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