气体质量流量计

[型号] CMS□□□□

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SUS型

SUS316型

氢气、氦气对应型（SUS316）

SUS型

左右滑动表格

型号		CMS9500	CMS0002	CMS0005	CMS0020	CMS0050	CMS0200	CMS0500
对应气体种类		空气、氮气、氧气（仅限氧气型）、氩气、二氧化碳、城市煤气13A（LNG标准45/46MJ）、甲烷（100%）、丙烷（100%）、丁烷（100%）但必须是不含腐蚀性成分（氯、硫、酸等）的干燥气体。且必须是不含灰尘及油雾的洁净气体。
空气流量量程※1		0～500 mL/min(标状)	0～2 L/min(标状)	0～5 L/min(标状)	0～20 L/min(标状)	0～50 L/min(标状)	0～200 L/min(标状)	0～500 L/min(标状)
		标状表示换算为20℃、101.325kPa（大气压）后的流量。
换算为 20℃、 1atm时各气体的最大测量流量※2	空气/氮气	500 mL/min	2 L/min	5 L/min	20 L/min	50 L/min	200 L/min	500 L/min
	氧气※3	500 mL/min	2 L/min	5 L/min	20 L/min	50 L/min	200 L/min	500 L/min
	氩气	500 mL/min	2 L/min	5 L/min	20 L/min	50 L/min	200 L/min	500 L/min
	二氧化碳	250 mL/min	1 L/min	3.3 L/min	10 L/min	25 L/min	100 L/min	250 L/min
	城市煤气13A ※4	400 mL/min	1.5 L/min	4.5 L/min	15 L/min	40 L/min	150 L/min	400 L/min
	甲烷	500 mL/min	2 L/min	5 L/min	20 L/min	50 L/min	200 L/min	500 L/min
	丙烷	140 mL/min	0.5 L/min	1.7 L/min	5 L/min	14 L/min	50 L/min	140 L/min
	丁烷	100 mL/min	0.4 L/min	1.25 L/min	5 L/min	12 L/min	50 L/min	120 L/min
测量精度 23℃、1atm时 ※6		50≤x＜100mL/min ±4%RD 100≤x≤500mL/min ±2%RD	0.2≤x＜0.4L/min ±4%RD 0.4≤x≤2L/min ±2%RD	0.5≤x＜1L/min ±4%RD 1≤x≤5L/min ±2%RD	2≤x＜4L/min ±4%RD 4≤x≤20L/min ±2%RD	5≤x＜10L/min ±4%RD 10≤x≤50L/min ±2%RD	20≤x＜40L/min ±4%RD 40≤x≤200L/min ±2%RD	50≤x＜100L/min ±4%RD 100≤x≤500L/min ±2%RD
最小显示值		1 mL/min	0.01 L/min		0.1 L/min		1 L/min
显示分辨率		1 mL/min	0.01 L/min		0.1 L/min		1 L/min
使用温度范围		－10～＋60℃
保存温度范围		－20～＋70℃
使用湿度范围		10～90%RH（无结露）
连接口径		Rc 1/4					Rc 1/2
本体材质		SUS303和SUS316
外壳材质		聚碳酸酯
使用压力范围		－0.07～＋1.0MPa
耐压		1.5MPa
安装方向		水平安装，流向从左到右或从右到左
额定电压		DC12～24V
输出信号（瞬时流量输出）		DC0～5V/1～5V/4～20mA 可通过本体按键进行切换
事件输出		开路集电极输出：2点
事件功能		可根据瞬时流量上限/下限、正累积递增计数、负累积递减计数、累积脉冲输出（仅限事件2）、流量数据串行输出（仅限事件1）进行选择
重量		约800g					约1400g	约2000g

SUS316型

左右滑动表格

型号		CMS9500	CMS0002	CMS0005	CMS0020	CMS0050	CMS0200	CMS0500
对应气体种类		空气、氮气、氧气（仅限氧气型）、氩气、二氧化碳、城市煤气13A（LNG标准45/46MJ）、甲烷（100%）、丙烷（100%）、丁烷（100%）特殊气体：氨气、乙炔但必须是不含腐蚀性成分（氯、硫、酸等）的干燥气体。且必须是不含灰尘及油雾的洁净气体。
空气流量量程※1		0～500 mL/min(标状)	0～2 mL/min(标状)	0～5 mL/min(标状)	0～20 mL/min(标状)	0～50 mL/min(标状)	0～200 mL/min(标状)	0～500 mL/min(标状)
空气流量量程※1		标状表示换算为20℃、101.325kPa（大气压）后的流量。
换算为 20℃、 1atm时各气体的最大测量流量※2	空气/氮气	500 mL/min	2 L/min	5 L/min	20 L/min	50 L/min	200 L/min	500 L/min
	氧气※3	500 mL/min	2 L/min	5 L/min	20 L/min	50 L/min	200 L/min	500 L/min
	氩气	500 mL/min	2 L/min	5 L/min	20 L/min	50 L/min	200 L/min	500 L/min
	二氧化碳	250 mL/min	1 L/min	3.3 L/min	10 L/min	25 L/min	100 L/min	250 L/min
	城市煤气13A ※4	400 mL/min	1.5 L/min	4.5 L/min	15 L/min	40 L/min	150 L/min	400 L/min
	甲烷	500 mL/min	2 L/min	5 L/min	20 L/min	50 L/min	200 L/min	500 L/min
	丙烷	140 mL/min	0.5 L/min	1.7 L/min	5 L/min	14 L/min	50 L/min	140 L/min
	丁烷	100 mL/min	0.4 L/min	1.25 L/min	5 L/min	12 L/min	50 L/min	120 L/min
	氨气※5	380 mL/min	1.52 L/min	3.85 L/min	15.2 L/min	38 L/min	152 L/min	380 L/min
	乙炔	280 mL/min	1.12 L/min	3.05 L/min	11.2 L/min	28 L/min	112 L/min	280 L/min
测量精度 23℃、1atm时 ※6		50≤x＜100mL/min	0.2≤x＜0.4L/min	0.5≤x＜1L/min	2≤x＜4L/min	5≤x＜10L/min	20≤x＜40L/min	50≤x＜100L/min
		±4%RD	±4%RD	±4%RD	±4%RD	±4%RD	±4%RD	±4%RD
		100≤x≤500mL/min	0.4≤x≤2L/min	1≤x≤5L/min	4≤x≤20L/min	10≤x≤50L/min	40≤x≤200L/min	100≤x≤500L/min
		±2%RD	±2%RD	±2%RD	±2%RD	±2%RD	±2%RD	±2%RD
最小显示值		1 mL/min	0.01 L/min		0.1 L/min		1 L/min
显示分辨率		1 mL/min	0.01 L/min		0.1 L/min		1 L/min
使用温度范围		－10～＋60℃
保存温度范围		－20～＋70℃
使用湿度范围		10～90%RH（无结露）
连接口径		9/16-18 UNF、Rc 1/4、1/4 Swagelok、1/4VCR可根据型号选择					3/4-16 UNF、Rc 1/2、1/2 Swagelok、 3/8VCR同等品，可根据型号选择
本体材质		SUS316
O型密封圈材质		氟橡胶：气体种类型号[N][S]
O型密封圈材质		EPDM：气体种类型号[E]
外壳材质		聚碳酸酯
使用压力范围		－0.07～＋1.0MPa
耐压		1.5MPa
安装方向		水平安装，流向从左到右或从右到左
额定电压		DC12～24V
输出信号（瞬时流量输出）		DC0～5V/1～5V/4～20mA 可通过本体按键进行切换
事件输出		开路集电极输出：2点
事件功能		可根据瞬时流量上限/下限、正累积递增计数、负累积递减计数、累积脉冲输出（仅限事件2）、流量数据串行输出（仅限事件1）进行选择
重量		约800g					约1400g	约2000g
※1 此为测量空气时的流量量程。本产品具有气体种类切换功能，可通过本体按键切换各种气体种类。另外，还配备了变更定标的功能，可以通过本体按键变更模拟输出定标。 ※2 对于除此以外的气体种类，也备有可通过气体类型补偿系数功能进行对应的产品。详情请垂询我司。 ※3 对于氧气，仅氧气型CMS□□□□□□□S□□□1□□适用。 ※4 城市煤气13A是以LNG制成的下述气体为基准。即使为13A，但当气体成分不同时，请垂询我司。 ※5 氨气要求为露点-20℃以下的干燥气体。　由于氨气与空气中水分接触后具有腐蚀性，请在导入配管前及配管暴露于空气前使用干燥氮气等进行充分清扫。 ※6 此为中国制造型号对空气、氮气及氧气（氧气型产品）的对应精度，关于日本制造型号的测量精度，详细请垂询我司。

氢气、氦气对应型（SUS316）

左右滑动表格

		CMS0010	CMS0050	CMS0200	CMS0500	CMS1000	CMS2000
对应气体种类		氢气、氦气但必须是不含腐蚀性成分（氯、硫、酸等）的干燥气体。且必须是不含灰尘及油雾的洁净气体。
流量量程※1		0～10 L/min(标状)	0～50 L/min(标状)	0～200 L/min(标状)	0～500 L/min(标状)	0～1000 L/min(标状)	0～2000 L/min(标状)
		标状表示换算为20℃、101.325kPa（大气压）后的流量。
换算为20℃、 1atm时各气体的最大测量流量※2	氢气	10 L/min	50 L/min	200 L/min	500 L/min	1000 L/min	2000 L/min
	氦气	10 L/min	50 L/min	200 L/min	500 L/min	1000 L/min	2000 L/min
测量精度 23℃、1atm时※3		1≤x＜2L/min	5≤x＜10L/min	20≤x＜40L/min	50≤x＜100L/min	100≤x＜200L/min	200≤x＜400L/min
		±4%RD	±4%RD	±4%RD	±4%RD	±4%RD	±4%RD
		2≤x≤10L/min	10≤x≤50L/min	40≤x≤200L/min	100≤x≤500L/min	200≤x≤1000L/min	400≤x≤2000L/min
		±2%RD	±2%RD	±2%RD	±2%RD	±2%RD	±2%RD
最小显示值		0.01 L/min	0.1 L/min	1 L/min	1 L/min	1 L/min	5 L/min
显示分辨率		0.01 L/min	0.1 L/min	1 L/min	1 L/min	1 L/min	5 L/min
使用温度范围		－10～＋60℃
保存温度范围		－20～＋70℃
使用湿度范围		10～90%RH（无结露）
连接口径		9/16-18 UNF 、Rc 1/4、1/4 Swagelok、1/4VCR同等品			3/4-16 UNF 、Rc 1/2、1/2 Swagelok、3/8VCR同等品
		可根据型号选择			可根据型号选择
本体材质		SUS316
外壳材质		聚碳酸酯
使用压力范围		－0.07～＋1.0MPa
耐压		1.5MPa
安装方向		水平安装，流向从左到右或从右到左
额定电压		DC12～24V
输出信号（瞬时流量输出）		DC0～5V/1～5V/4～20mA 可通过本体按键进行切换
事件输出		开路集电极输出：2点
事件功能		可根据瞬时流量上限/下限、正累积递增计数、负累积递减计数、累积脉冲输出（仅限事件2）、流量数据串行输出（仅限事件1）进行选择
重量		约800g			约1400g		约2000g
※1 此为使用氢气、氦气时的流量量程。本产品具有变更定标的功能，可以通过本体按键变更模拟输出定标。 ※2 对于除此以外的气体种类，也备有可通过气体种类补偿系数功能进行对应的产品。详情请垂询我司。 ※3 此为中国制造型号测量精度，关于日本制造型号的测量精度，详细请垂询我司。

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