槽式清洗机中对药液温度的稳定检测
背景
槽式清洗机是半导体制造中的关键设备，主要用于光刻、刻蚀、薄膜沉积等工艺前后去除晶圆表面污染物（如颗粒、有机物、金属离子等）。温度控制不仅决定污染物颗粒去除效率，还决定不同批次产品品质的一致性，而对药液温度的稳定检测是实现温度控制的首要因素。
课题
为避免温度传感器受药液侵蚀，需对传感器进行二次加工，常见通过加装套管来保护传感器本体。然而加装保护套管的工艺复杂，材料厚度、密封及加工方式等因素都会影响二次加工成品的测温特性，产生测量精度偏差和测温时效变长等问题。
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