热处理设备中PID参数整定工时的削减
背景
热处理设备是半导体晶圆制造中的关键工艺机台，主要用于快速热退火、氧化、扩散等工艺。温度的加热与冷却控制会通过PLC或温度控制仪表完成，寻找最佳的PID参数是电气工程师最耗费工时的环节之一。
课题
设备启动时及维护恢复后，均需进行PID的整定或调整。设备制造商的电气工程师需要长时间滞留现场反复调整，这不仅增加了人工成本，也直接影响了设备的制造启动时间。
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