光刻胶设备中对药液液位的检测
提升装置性能
提升生产效率
半导体


背景

在光刻胶涂胶显影等工艺中,需要频繁检测细径管道内的液面及药液有无,以确保供液连续性。此类应用往往空间紧凑,传感器需直接安装于配管上。


课题

能够支持φ5以下管径的内置放大器型液面传感器较少,客户通常面临两种选择:

一是使用昂贵的光纤传感器,不仅价格高,还需额外购买和安装放大器;
二是选用普通内置放大器型传感器,但此类产品大多仅有NPN输出,且无法调整光量,使用上限制较多。


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